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根據國家標GB/T4957-2003《非磁性金屬基體上非導電覆蓋層厚度測量 渦流法》，下列因素會影響測量精度。
1. 覆蓋層厚度
測量的不確定度是渦流測厚方法固有的特性。對于較薄的覆蓋層（例如：小于25μm），測量不確定度是一恒定值，與覆蓋層的厚度無關，每次測量的不確定度至少是0.5μm。對于儀器，這一不確定度為0.5μm~1μm。對于厚度大于25μm的較厚覆蓋層厚度的某一比值。對于本儀器，這一不確定度是覆蓋層厚度的2%。
對于厚度小于或等于5μm的覆蓋層，厚度值應取幾次測量的平均值。
對于厚度小于3μm的覆蓋層，不能準確測出膜厚值。
2. 基體金屬的導電率
渦流測厚方法的測量值會受到基體金屬導電率的影響。金屬的導電率與其材料的成份及熱處理有關。導電率對測量的影響隨儀器的生產廠和型號的不同有明顯差異。本儀器的測量受基體金屬導電率的影響很小。
3. 基體金屬的厚度
每臺儀器都有一個基體金屬的臨界厚度值，大于這個厚度，測量值將不受基體厚度增加的影響。這一臨界厚度值取決于儀器探頭系統的工作頻率的工作頻率及基體金屬的導電率。本儀器的臨界厚度值大約是0.3~0.4 mm。
將基體金屬厚度低于臨界的試樣與材質相同、厚度相同的無涂層材料疊加使用是不可靠的。
4. 邊緣效應
渦流測厚儀對于試樣表面的不連續敏感。太靠近試樣邊緣的測量是不可靠的。如果一定要在小面積試樣或窄條試樣上測量，可將形狀相同的無涂層材料作為基體重新校正儀器。對于本儀器，當測量面積小于150 mm2或試樣寬度小于12 mm時，應在相應的無涂層材料上重新校正儀器。
5. 曲率
試樣曲率的變化會影響測量值。試樣曲率越小，對測量值的影響就越大。對于本儀器，當測量直徑小于50 mm的試樣時，應在相同直徑的無涂層材料上重新校正儀器。
6. 表面粗糙
基體金屬和覆蓋層的表面粗糙度對測量值有影響。在不同的位置上進行多次測量后取平均值可以減小這一影響。如果基體金屬表面粗糙，還應在涂覆前的相應金屬材料上的多個位置校正儀器零點。
7. 探頭與試樣表面的緊密接觸
測厚儀的探頭必須與試樣表面緊密接觸，試樣表面的灰塵和污物對測量值有影響。因此，測量時應確保探頭前端和試樣表面的清潔。
當對2片以上已知厚度值的校正箔片進行疊加測量時，測得的數值要大于校正箔片厚度值之和。箔片越厚、越硬，這一偏差就越大。原因是箔片的疊加影響了探頭與箔片及箔片之間的緊密接觸。
8. 探頭壓力
測量時，施加于探頭的壓力對測量值有影響。本儀器在探頭內有一恒壓彈簧，可保證每次測量時探頭施加于度樣的壓力不變。
9. 探頭的垂直度
溫度的變化會影響探頭參數。因此，應在與使用環境大致相同的溫度下校正儀器。本儀器進行了良好的溫度補償，溫度變化對測量值的影響很小。
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